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科研机构
大连理工大学 [2]
内容类型
会议论文 [2]
发表日期
2011 [1]
2009 [1]
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双频容性耦合等离子体无碰撞电子反弹共振加热实验与模拟研究
会议论文
第十五届全国等离子体科学技术会议论文集中国力学学会;中国核学会;中国物理学会, 黄山, 2011-08-08
作者:
刘永新
;
张权治
;
姜巍
;
侯璐景
;
蒋相站
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提交时间:2019/12/18
容性耦合
鞘层
分子碰撞
欧姆加热
中性气体
放电频率
放电间隙
放电功率
射频频率
双探针
容性耦合等离子体电子加热模式分析
会议论文
第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会, 中国辽宁大连, 2009-07-20
作者:
姜巍
;
王虹宇
;
赵书霞
;
王友年
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提交时间:2019/12/24
等离子体电子
容性耦合
二次电子
欧姆加热
粒子相互作用
模式转换
电源电压
低温等离子体
非线性耦合
鞘层
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