| 双频容性耦合等离子体无碰撞电子反弹共振加热实验与模拟研究 | |
| 刘永新; 张权治; 姜巍; 侯璐景; 蒋相站; 陆文琪; 王友年 | |
| 2011 | |
| 会议名称 | 第十五届全国等离子体科学技术会议论文集中国力学学会;中国核学会;中国物理学会 |
| 会议日期 | 2011-08-08 |
| 会议地点 | 黄山 |
| 关键词 | 容性耦合 鞘层 分子碰撞 欧姆加热 中性气体 放电频率 放电间隙 放电功率 射频频率 双探针 |
| 页码 | 194-194 |
| 会议录 | 第十五届全国等离子体科学技术会议论文集中国力学学会
 ; 中国核学会
; 中国物理学会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4843577 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学物理与光电工程学院,大连,116024 2.华中科技大学 物理学院 武汉 430074 3.马克思普朗克研究所 地外物理 德国嘉兴 85748 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘永新,张权治,姜巍,等. 双频容性耦合等离子体无碰撞电子反弹共振加热实验与模拟研究[C]. 见:第十五届全国等离子体科学技术会议论文集中国力学学会;中国核学会;中国物理学会. 黄山. 2011-08-08. |
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