| 容性耦合等离子体电子加热模式分析 | |
| 姜巍; 王虹宇; 赵书霞; 王友年 | |
| 2009 | |
| 会议名称 | 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会 |
| 会议日期 | 2009-07-20 |
| 会议地点 | 中国辽宁大连 |
| 关键词 | 等离子体电子 容性耦合 二次电子 欧姆加热 粒子相互作用 模式转换 电源电压 低温等离子体 非线性耦合 鞘层 |
| 页码 | 1 |
| 会议录 | 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5286865 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学物理与光电工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姜巍,王虹宇,赵书霞,等. 容性耦合等离子体电子加热模式分析[C]. 见:第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会. 中国辽宁大连. 2009-07-20. |
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