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大连理工大学 [2]
清华大学 [1]
西北工业大学 [1]
上海微系统与信息技术... [1]
湖南大学 [1]
内容类型
会议论文 [6]
发表日期
2012 [1]
2010 [1]
2009 [1]
2005 [1]
2004 [1]
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基于Agent的微型工厂加工过程仿真研究
会议论文
中国广州 2001年“面向21世纪的生产工程”学术会议暨企业生产工程与产品创新专题研讨会
赵洪策
;
苑伟政
;
王伟
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2017/06/19
加工过程仿真
Agent
准分子激光
绿色制造
机动灵活
节省能源
生产模式
生产系统
微小型
微机械
一种基于EWOD效应的微流体控制芯片研究
会议论文
2008中国仪器仪表与测控技术进展大会, CNKI
朱亮
;
叶雄英
;
冯焱颖
;
武雁斌
;
周兆英
;
Zhu Liang
;
Ye Xiongying
;
Feng Yanying
;
Wu Yanbin
;
Zhou Zhaoying
收藏
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浏览/下载:6/0
服务于微电子产业的MEMS新技术
会议论文
第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009
程融
;
蒋珂玮
;
李昕欣
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2012/01/18
微电子产业 UV-LIGA技术 金属电镀 MEMS器件 微细加工 硅微机械
微桥热传感器测微小气压的研究
会议论文
第十一届全国实验力学学术会议--暨庆祝中国力学学会实验力学专业委员会成立26周年论文集中国力学学会, 大连, 2005-07-26
作者:
张凤田
;
唐祯安
;
金仁成
;
余隽
;
江胜峰
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/01/02
微桥 热传感器 气压传感器 表面微机械加工
基于MEMS的硅基PZT薄膜微力传感芯片设计及制作
会议论文
中国科协第2届优秀博士生学术年会, 苏州, 2004-12-01
作者:
佟建华
;
刘梦伟
;
崔岩
;
王兢
;
崔天宏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/01/02
MEMS
PZT薄膜
微力传感器
微机械加工
有限元模拟
钙钛矿结构
服务于微电子产业的MEMS新技术
会议论文
第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 杭州, 2009
作者:
刘斯佳
;
朱静
;
谭钟扬
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浏览/下载:0/0
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提交时间:2020/01/13
微电子产业
UV-LIGA技术
金属电镀
MEMS器件
微细加工
硅微机械
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