| 服务于微电子产业的MEMS新技术 | |
| 刘斯佳; 朱静; 谭钟扬 | |
| 会议名称 | 第11届全国敏感元件与传感器学术会议 |
| 会议日期 | 2009 |
| 会议地点 | 杭州 |
| 关键词 | 微电子产业 UV-LIGA技术 金属电镀 MEMS器件 微细加工 硅微机械 |
| 会议录 | 第11届全国敏感元件与传感器学术会议论文集
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6684398 |
| 专题 | 湖南大学 |
| 作者单位 | 湖南大学化学化工学院,化学/生物传感与计量学国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘斯佳,朱静,谭钟扬. 服务于微电子产业的MEMS新技术[C]. 见:第11届全国敏感元件与传感器学术会议. 杭州. 2009. |
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