| 微桥热传感器测微小气压的研究 | |
| 张凤田; 唐祯安; 金仁成; 余隽; 江胜峰 | |
| 2005 | |
| 会议名称 | 第十一届全国实验力学学术会议--暨庆祝中国力学学会实验力学专业委员会成立26周年论文集中国力学学会 |
| 会议日期 | 2005-07-26 |
| 会议地点 | 大连 |
| 关键词 | 微桥 热传感器 气压传感器 表面微机械加工 |
| 页码 | 74-78 |
| 会议录 | 第十一届全国实验力学学术会议--暨庆祝中国力学学会实验力学专业委员会成立26周年论文集中国力学学会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6167558 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学电子工程系,辽宁,大连,116024 2.大连理工大学微系统与微制造重点实验室,辽宁,大连,116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张凤田,唐祯安,金仁成,等. 微桥热传感器测微小气压的研究[C]. 见:第十一届全国实验力学学术会议--暨庆祝中国力学学会实验力学专业委员会成立26周年论文集中国力学学会. 大连. 2005-07-26. |
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