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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 学科主题：空间技术     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 用于薄膜制备的射频宽束离子源的设计 期刊论文 真空科学与技术学报, 2004, 卷号: 24, 期号: 6, 页码: 451-454 尤大伟; 黄小刚; 任荆学; 李安杰 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2014/04/30 宽束  离子源  薄膜制备  光学薄膜  离子束  感应线圈  匹配  射频  镀膜  高性能   用于辅助镀膜的霍尔等离子体源 期刊论文 光学仪器, 2001, 卷号: 23, 期号: 6, 页码: 58-62 尤大伟; 黄小刚; 武建军 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2014/04/30 光学镀膜  离子束辅助镀膜  等离子体加速   用于材料改性的宽束离子源现状及其发展 期刊论文 微细加工技术, 1996, 期号: 1, 页码: 67-75 尤大纬; 冯毓材; 王宇 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2014/04/30 离子束  材料改性  离子源  薄膜制备  离子注入   离子束增强沉积制备碳化硼及C_B_Ti化合物薄膜的结构与力学性能的研究 期刊论文 真空科学与技术学报, 1995, 卷号: 15, 期号: 2, 页码: 79-85 王宇; 尤大纬; 夏磊 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2014/04/30 离子束增强沉积  硬膜  碳化硼