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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2017    内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 射频MEMS谐振器的真空封装技术研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 赵继聪 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2017/05/31 RF MEMS谐振器+真空封装+寄生效应+金锡焊料+频率稳定性   孔缝多梁高性能MEMS加速度传感器研究 学位论文 2017 作者:  王鹏 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2019/11/26 加速度计  孔缝梁  固有频率  灵敏度  侧向效应  微机电系统