QQ客服 官方微博 反馈留言

题名	孔缝多梁高性能MEMS加速度传感器研究
作者	王鹏
答辩日期	2017
导师	王海容
关键词	加速度计 孔缝梁 固有频率 灵敏度 侧向效应 微机电系统
学位名称	工学博士
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2943211
专题	西安交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	王鹏. 孔缝多梁高性能MEMS加速度传感器研究[D]. 2017.

个性服务

查看访问统计

相关权益政策

暂无数据

收藏/分享

除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。