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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 发表日期：2015     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 痕量氢气法监测硅中阶梯光栅湿法刻蚀截止点 期刊论文 长春工业大学学报, 2015, 期号: 05, 页码: 496-502 作者:  王军 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2016/07/06 截止点监测  痕量氢气  湿法刻蚀  中阶梯光栅   硅中阶梯光栅的湿法刻蚀技术 期刊论文 长春工业大学学报, 2015, 期号: 04, 页码: 390-394 作者:  焦庆斌 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2016/07/06 硅中阶梯光栅  湿法刻蚀  衍射效率   小顶角平台硅中阶梯光栅光刻胶掩模制备工艺研究 期刊论文 长春工业大学学报, 2015, 期号: 03, 页码: 288-292 作者:  焦庆斌 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2016/07/06 紫外曝光  倒置热熔  硅中阶梯光栅  湿法刻蚀   基于飞秒激光微加工的三维金属微结构超精细制备方法研究 学位论文 2015 作者:  孟祥卫 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2019/12/02 飞秒激光湿法刻蚀  微透镜阵列  三维微通道  三维金属微线圈  微系统   三维微流控芯片的飞秒激光制备技术及应用 学位论文 2015 作者:  柳克银 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/12/02 飞秒激光湿法刻蚀  三维微流道  三维金属微线圈  被动式微混合器  高频电流传感器   基于负性光刻胶掩膜的湿法多晶硅制绒 期刊论文 人工晶体学报, 2015, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 1748-1753 作者:  丁彬;  程现铁 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/02 表面制绒  湿法刻蚀  负性光刻胶  光刻法  多晶硅太阳能电池