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科研机构
大连理工大学 [3]
内容类型
会议论文 [3]
发表日期
2007 [3]
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发表日期:2007
内容类型:会议论文
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介质阻挡放电等离子体沉积氟碳薄膜研究
会议论文
第十三届全国等离子体科学技术会议, 中国四川成都, 2007-08-20
作者:
牛金海
;
冯志庆
;
李伟
;
尹晔珺
;
谷建东
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/27
薄膜研究
憎水性
光电子能谱
放电频率
原子力显微镜
沉积速率
表面粗糙度
放电等离子体
静态接触角
气压变化
射频反应磁控溅射法在高速钢基底上制备SiO_2薄膜(英文)
会议论文
第八届真空冶金与表面工程学术会议, 中国辽宁沈阳, 2007-06-01
作者:
曾其勇
;
周娟
;
徐军
;
邓新禄
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/12/27
SiO2薄膜
射频磁控溅射
原子力显微镜(AFM)
X射线光电子能谱仪(XPS)
射频反应磁控溅射法在高速钢基底上制备SiO_2薄膜
会议论文
第八届全国真空冶金与表面工程学术会议, 中国辽宁沈阳, 2007-06-01
作者:
曾其勇
;
周娟
;
徐军
;
邓新禄
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提交时间:2019/12/27
SiO2薄膜
射频磁控溅射
原子力显微镜(AFM)
X射线光电子能谱仪(XPS)
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