| 射频反应磁控溅射法在高速钢基底上制备SiO_2薄膜 | |
| 曾其勇; 周娟; 徐军; 邓新禄 | |
| 2007 | |
| 会议名称 | 第八届全国真空冶金与表面工程学术会议 |
| 会议日期 | 2007-06-01 |
| 会议地点 | 中国辽宁沈阳 |
| 关键词 | SiO2薄膜 射频磁控溅射 原子力显微镜(AFM) X射线光电子能谱仪(XPS) |
| 页码 | 1 |
| 会议录 | 第八届全国真空冶金与表面工程学术会议
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5618013 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.中国计量学院,机电工程学院 2.大连理工大学,物理系,三束国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曾其勇,周娟,徐军,等. 射频反应磁控溅射法在高速钢基底上制备SiO_2薄膜[C]. 见:第八届全国真空冶金与表面工程学术会议. 中国辽宁沈阳. 2007-06-01. |
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