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科研机构
河北大学 [4]
内容类型
专利 [2]
期刊论文 [2]
发表日期
2000 [1]
1999 [1]
1987 [1]
1983 [1]
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设施农业专用光源
专利
申请日期: 2000-01-01, 公开日期: 2000-11-01
作者:
徐景智[1]
;
杨景发[2]
;
陈永申[3]
;
薛春银[4]
;
赵庆勋[5]
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2019/12/31
植物专用冷光准单色光波仪
专利
申请日期: 1999-01-01, 公开日期: 2000-04-05
作者:
徐景智[1]
收藏
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浏览/下载:2/0
  |  
提交时间:2019/12/31
OLD诊断SiH_4的LPCVD动力学过程
期刊论文
中国激光, 1987, 期号: 11, 页码: 671-673+661
作者:
傅广生[1]
;
李晓苇[2]
;
韩理[3]
;
张连水[4]
;
董丽芳[5]
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/31
激波效应
LPCVD
气体动力学
OLD
SiH_4
等离子体淀积
激光辐照
硅薄膜
激光偏转
反应室
激光预热基片化学气相沉积硅薄膜
期刊论文
中国激光, 1983, 期号: 12, 页码: 858-859
作者:
陈万湘[1]
;
王入更[2]
;
薛春银[3]
;
王玉琪[4]
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/31
硅薄膜
反应室
化学气相沉积
横模
充气系统
硅原子
开卜
吹制
口刁
单色光源
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