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浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A novel fabrication process of MEMS devices on polyimide flexible substrates 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2008, 卷号: 85, 期号: 2, 页码: 452-457 Xiao, SY; Che, LF; Li, XX; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2011/12/17 SENSOR ARRAY  HEATER  FILMS  SKIN   A novel capacitive accelerometer with an eight-beam-mass structure by self-stop anisotropic etching of (100) silicon 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2008, 卷号: 18, 期号: 7, 页码: 75005-75005 Xiao, F; Che, LF; Xiong, B; Wang, YL; Zhou, XF; Li, YF; Lin, YL 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2011/12/17 FABRICATION   A novel fabrication process of MEMS devices on polyimide flexible substrates 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2008, 卷号: 85, 期号: 2, 页码: 452-457 Xiao, SY; Che, LF; Li, XX; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2011/12/17 SENSOR ARRAY  HEATER  FILMS  SKIN   A new symmetrical beam-mass structure for accelerometers by anisotropic etching without convex corner compensation 期刊论文 2008 3RD IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, VOLS 1-3, 2008, 页码: 1059-1062 Xiao, F; Che, LF; Fan, KB; Xiong, B; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2011/12/17 A novel capacitive accelerometer with an eight-beam-mass structure by self-stop anisotropic etching of (100) silicon 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2008, 卷号: 18, 期号: 6 Pages, 页码: 075005 Xiao, F; Che, LF; Xiong, B; Wang, YL; Zhou, XF; Li, YF; Lin, YL 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/05/12 A novel fabrication process of MEMS devices on polyimide flexible substrates 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2008, 卷号: 85, 期号: 11 Pages, 页码: 452-457 Xiao, SY; Che, LF; Li, XX; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2012/05/12 A cost-effective flexible MEMS technique for temperature sensing 期刊论文 MICROELECTRONICS JOURNAL, 2007, 卷号: 38, 期号: 3, 页码: 360-364 Xiao, SY; Che, LF; Li, XX; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2011/12/17 SHEAR-STRESS SENSOR  FILMS   A cost-effective flexible MEMS technique for temperature sensing 期刊论文 MICROELECTRONICS JOURNAL, 2007, 卷号: 38, 期号: 1 Pages, 页码: 360-364 Xiao, SY; Che, LF; Li, XX; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2012/05/12