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悬浮结构的MEMS红外光源及其制备方法 专利
专利号: CN201610797210.7, 申请日期: 2018-06-29, 公开日期: 2017-01-04
作者:  陈大鹏;  刘卫兵;  明安杰;  谭秋林;  任耀辉
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OPTICAL OPTIMIZATION OF MEMS IR SOURCE FOR COMPACT NDIR GAS SENSORS 会议论文
作者:  Jijun Xiong;  Fu JY(傅剑宇);  Qiulin Tan;  Jing Zhang;  Liu WB(刘卫兵)
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2019/05/14
面向 MEMS 红外光源的高辐射率纳米硅结构制备 期刊论文
仪表技术与传感器, 2017
作者:  明安杰;  谭秋林;  刘卫兵;  熊继军;  王玮冰
收藏  |  浏览/下载:33/0  |  提交时间:2018/05/14
面向红外光源的辐射自增强非晶碳薄膜性能 期刊论文
微纳电子技术, 2017
作者:  刘卫兵;  熊继军;  王玮冰;  毛海央;  孙西龙
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2018/05/14
悬浮结构的MEMS红外光源 专利
专利号: CN201621032847.9, 申请日期: 2017-03-15,
作者:  王玮冰;  陈大鹏;  任耀辉;  刘卫兵;  明安杰
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2018/02/05


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