面向红外光源的辐射自增强非晶碳薄膜性能

	面向红外光源的辐射自增强非晶碳薄膜性能
	刘卫兵; 熊继军; 王玮冰; 毛海央; 孙西龙; 孟莹; 谭秋林; 明安杰
刊名	微纳电子技术
	2017-06-14
文献子类	期刊论文
英文摘要	为进一步提升红外气体传感器的性能，提出了一种可实现辐射自增强的多层纳米交叠复合非晶碳薄膜材料应用于红外光源，对材料制备的关键工艺及性能表征进行了深入研究，以期大幅提高光源的辐射效率，降低功耗。采用非平衡磁控溅射工艺制备了含钛的周期性非晶碳复合薄膜，在不同退火条件下进行了方阻及光学吸收率测试表征。结果表明，多层纳米厚度交叠薄膜有效降低了薄膜的应力；氧等离子体表面刻蚀调控工艺实现了高辐射率纳米纤维材料的集成制备；制备的非晶碳纳米复合薄膜在高温８００ ℃退火后呈现出良好的电阻热稳定性，在波长５～６ μ ｍ内吸收率大于８０％，最高接近８４％。本工作为该辐射自增强的非晶碳薄膜应用于ＭＥＭＳ红外光源提供了一定的技术支持。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://159.226.55.106/handle/172511/17991]
专题	微电子研究所_智能感知研发中心
推荐引用方式 GB/T 7714	刘卫兵,熊继军,王玮冰,等. 面向红外光源的辐射自增强非晶碳薄膜性能[J]. 微纳电子技术,2017.
APA	刘卫兵.,熊继军.,王玮冰.,毛海央.,孙西龙.,...&明安杰.(2017).面向红外光源的辐射自增强非晶碳薄膜性能.微纳电子技术.
MLA	刘卫兵,et al."面向红外光源的辐射自增强非晶碳薄膜性能".微纳电子技术 (2017).