悬浮结构的MEMS红外光源

	悬浮结构的MEMS红外光源
	王玮冰; 陈大鹏; 任耀辉; 刘卫兵; 明安杰; 熊继军; 毛海央; 谭秋林
	2017-03-15
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN201621032847.9
国家	中国
文献子类	实用新型
英文摘要	本发明设计红外技术领域，公开了一种悬浮结构的MEMS红外光源。本发明中，红外光源，包括：衬底、支撑层、图形化加热层、隔离层、金属电极、辐射层；辐射层沉积在电加热层上，并通过隔离层隔离；金属电极通过电极粘附层沉积在支撑层和加热层侧面；辐射层、隔离层、加热层、支撑层均悬浮在衬底上形成凹弧状四梁固支悬浮结构。采用湿法腐蚀和干法刻蚀结合的方式制备悬浮结构。与现有技术相比，四梁固支悬浮结构的制备，可以大幅减少热传导通路，降低热质量，提高红外光源的性能；而且，采取独特的制备方法，简化工艺流程，减低工艺难度，可以解决释放不彻底的关键性技术难题，从而提高成品率。
申请日期	2016-08-31
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://159.226.55.106/handle/172511/17684]
专题	微电子研究所_智能感知研发中心
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	王玮冰,陈大鹏,任耀辉,等. 悬浮结构的MEMS红外光源. CN201621032847.9. 2017-03-15.