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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：金属研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 采用TMAH腐蚀液形成硅杯的研究 会议论文 第八届敏感元件与传感器学术会议, 北京, 2003-09-01 沈桂芬; 姚朋军; 丁德宏; 付世; 张宏庆; 范军; 王振波 收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2013/08/21 TMAH  粗糙度  腐蚀速率  各向异性腐蚀   采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析 期刊论文 传感技术学报, 2002, 期号: 3, 页码: 251-255 沈桂芬,姚朋军,丁德宏,付世,吕品,杨春常,刘宏俊,王振波 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/04/12 TMAH  粗糙度  腐蚀速率  各向异性。