采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析

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	采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析
	沈桂芬,姚朋军,丁德宏,付世,吕品,杨春常,刘宏俊,王振波
刊名	传感技术学报
	2002-09-15
期号	3 页码:251-255
关键词	TMAH 粗糙度腐蚀速率各向异性。
中文摘要	TMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液。本文通过大量对比实验对TMAH腐蚀液用于 <10 0 >、<111>单晶Si片不同电阻率、不同晶向的样品研究了粗糙度和腐蚀速率 ,得出重要结论。此研究对正确使用TMAH腐蚀液有重要指导意义。
公开日期	2012-04-12
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26413]
专题	金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	沈桂芬,姚朋军,丁德宏,付世,吕品,杨春常,刘宏俊,王振波. 采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析[J]. 传感技术学报,2002(3):251-255.
APA	沈桂芬,姚朋军,丁德宏,付世,吕品,杨春常,刘宏俊,王振波.(2002).采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析.传感技术学报(3),251-255.
MLA	沈桂芬,姚朋军,丁德宏,付世,吕品,杨春常,刘宏俊,王振波."采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析".传感技术学报 .3(2002):251-255.