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| 超薄硅纳米谐振梁的制作及谐振特性的测量 期刊论文 纳米技术与精密工程, 2008, 期号: 01 夏晓媛; 李昕欣; 王跃林; 李铁; 杨衡; 焦继伟 收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2012/01/06
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| 基于MEMS工艺制作的硅纳米线及其电学性质 期刊论文 半导体学报, 2006, 期号: 09 刘文平; 李铁; 杨恒; 焦继伟; 李昕欣; 王跃林 收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2012/01/06
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| 压阻式微机械陀螺接口电路的数学原理 期刊论文 传感器技术, 2005, 期号: 08 陈雪萌; 李昕欣; 王跃林; 焦继伟; 杨恒; 刘民 收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2012/01/06
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| 带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器 期刊论文 半导体学报, 2005, 期号: 03 程保罗; 李昕欣; 王跃林; 焦继伟; 车录锋; 杨恒; 戈肖鸿; 宋朝晖 收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2012/01/06
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| 新型侧壁绝缘体硅微机械工艺 期刊论文 仪表技术与传感器, 2005, 期号: 01 程保罗; 李昕欣; 王跃林; 焦继伟; 车录锋; 张鲲; 戈肖鸿; 宋朝晖 收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2012/01/06
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| 大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性 期刊论文 半导体学报, 2005, 期号: 01 陈永; 焦继伟; 王惠泉; 金仲和; 张颖; 熊斌; 李昕欣; 王跃林 收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2012/01/06
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| 一种基于滑膜阻尼效应的新型微机械陀螺 期刊论文 中国机械工程, 2004, 期号: 02 陈永; 焦继伟; 熊斌; 车录锋; 李昕欣; 王跃林 收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2012/01/06
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