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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 先进体硅机械加工技术——从微米到纳米 会议论文 第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集, 2006 李昕欣; 王跃林; 李铁; 杨恒; 焦继伟 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2012/01/18 传感技术联合国家重点实验室的MEMS及传感器工作 会议论文 第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集, 2006 王跃林; 王渭源; 李昕欣; 焦继伟; 陆德仁; 熊斌; 罗乐; 吴亚明; 李铁; 杨建义 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/01/18 从微到纳尺度缩小进程中的传感器技术应对方略探讨 会议论文 第九届全国敏感元件与传感器学术会议, 2005 李昕欣; 王跃林; 鲍敏杭; 焦继伟; 李铁; 杨恒; 罗乐; 车录锋 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/01/18 传感器 微米尺度 纳米效应   传感技术国家联合重点实验室十六年工作启示 会议论文 第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003 王跃林; 王渭源; 李昕欣; 焦继伟; 陆德仁; 熊斌; 罗乐; 吴亚明; 李铁; 杨建义 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/01/18 微机电系统 微光机电系统 传感器