传感技术国家联合重点实验室十六年工作启示

	传感技术国家联合重点实验室十六年工作启示
	王跃林 ; 王渭源 ; 李昕欣 ; 焦继伟 ; 陆德仁 ; 熊斌 ; 罗乐 ; 吴亚明 ; 李铁 ; 杨建义
	2003
会议名称	第八届敏感元件与传感器学术会议
会议日期	2003
关键词	微机电系统微光机电系统传感器
中文摘要	近年来,国际上微电子技术的飞速发展极大地促进了传感器的研究.本文回顾了传感技术国家联合重点实验室传感器研究的起步,在微机电系统以及微光机电系统领域的涉足和发展.对十六年来的工作进行了总结和分析,希望可以得到一些有价值的启示,以期对我国传感技术及MEMS的发展能提供一定的借鉴作用.
会议网址	http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5504892.aspx
会议录	第八届敏感元件与传感器学术会议论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56038]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	王跃林,王渭源,李昕欣,等. 传感技术国家联合重点实验室十六年工作启示[C]. 见:第八届敏感元件与传感器学术会议. 2003.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_5504892.aspx.