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薄膜应力测量装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: ZL200720068607.9, 申请日期: 2008-04-02, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15
申雁鸣; 袁磊; 邵淑英; 范正修; 贺洪波; 易葵; 邵建达
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光学膜厚监控系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: ZL200510024987.1, 申请日期: 2008-01-30, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15
朱美萍; 易葵; 郭世海; 邵建达; 王丹; 申雁鸣; 傅小勇; 毕军
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