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科研机构
上海光学精密机械研究... [2]
内容类型
专利 [2]
发表日期
2008 [2]
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发表日期:2008
内容类型:专利
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薄膜应力测量装置
专利
专利类型: 实用新型, 专利号: ZL200720068607.9, 申请日期: 2008-04-02, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15
申雁鸣
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袁磊
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邵淑英
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范正修
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贺洪波
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易葵
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邵建达
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提交时间:2011/07/14
光学膜厚监控系统
专利
专利类型: 发明, 专利号: ZL200510024987.1, 申请日期: 2008-01-30, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15
朱美萍
;
易葵
;
郭世海
;
邵建达
;
王丹
;
申雁鸣
;
傅小勇
;
毕军
收藏
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提交时间:2011/07/14
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