| 光学膜厚监控系统; 光学膜厚监控系统 | |
| 朱美萍 ; 易葵 ; 郭世海 ; 邵建达 ; 王丹 ; 申雁鸣 ; 傅小勇 ; 毕军 | |
| 2008-01-30 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL200510024987.1 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种实时监控镀膜过程中薄膜厚度的光学膜厚监控系统，特征在于其结构包括光源发射系统、监控片、信号接收系统和锁相放大器四部分：所述的光源发射系统由带光电池的光源和沿该光源发出的光束的前进方向依次设置的聚光镜、光阑、单排孔调制盘和准直镜组成，所述的信号接收系统由依次设置的折光元件、会聚镜、单色仪和光电倍增管组成一同光轴系统。本发明既适用于垂直透射式光学膜厚监控系统，又适于作反射式光学膜厚监控系统，安装变换方便而且监控的精度高。 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2005-04-08 |
| 收录类别 | 专利 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200510024987.1 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/10154]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱美萍,易葵,郭世海,等. 光学膜厚监控系统, 光学膜厚监控系统. ZL200510024987.1. 2008-01-30. |
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