| 薄膜应力测量装置; 薄膜应力测量装置 | |
| 申雁鸣 ; 袁磊 ; 邵淑英 ; 范正修 ; 贺洪波 ; 易葵 ; 邵建达 | |
| 2008-04-02 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL200720068607.9 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种薄膜应力测量装置，该装置包括激光器、供待测基片设置的精密电动导轨及其控制器、光电位敏探测器、A/D数据采集卡和计算机，所述的激光器、精密电动导轨、光电位敏探测器和A/D数据采集卡安装在一平台上，所述的激光器发出的光束照射到待测基片表面，在待测基片的反射光束方向是光电位敏探测器，该光电位敏探测器的输出端经所述的A/D数据采集卡与所述的计算机的输入端相连。本实用新型具有结构简单、精确度高、非接触测量、操作简便、价格低廉等特点。 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 2007-04-03 |
| 收录类别 | 专利 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200720068607.9 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/10178]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_光学薄膜技术研究与发展中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 申雁鸣,袁磊,邵淑英,等. 薄膜应力测量装置, 薄膜应力测量装置. ZL200720068607.9. 2008-04-02. |
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