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科研机构
上海大学 [3]
内容类型
期刊论文 [2]
专利 [1]
发表日期
2006 [3]
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发表日期:2006
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X射线光刻掩模版的制备方法
专利
申请日期: 2006-01-01,
作者:
王林军[1]
;
夏义本[2]
;
任玲[3]
;
蒋丽雯[4]
;
刘健敏[5]
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提交时间:2019/05/10
多层式金刚石薄膜的制备工艺研究
期刊论文
功能材料与器件学报, 2006, 卷号: 12, 页码: 91-94
作者:
阮建锋[1]
;
夏义本[2]
;
王林军[3]
;
刘健敏[4]
;
蒋丽雯[5]
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2019/05/10
纳米金刚石
表面粗糙度
声表面波
晶粒尺寸对CVD金刚石膜电学特性的影响
期刊论文
功能材料与器件学报, 2006, 卷号: 12, 页码: 275-279
作者:
崔江涛[1]
;
王林军[2]
;
苏青峰[3]
;
阮建锋[4]
;
蒋丽雯[5]
收藏
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提交时间:2019/05/10
金刚石膜
电学特性
晶粒尺寸
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