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	X射线光刻掩模版的制备方法
	王林军[1]; 夏义本[2]; 任玲[3]; 蒋丽雯[4]; 刘健敏[5]; 苏青峰[6]
	2006
权利人	上海大学
URL标识	查看原文
申请日期	2006-08-21
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2391000
专题	上海大学
作者单位	上海大学
推荐引用方式 GB/T 7714	王林军[1],夏义本[2],任玲[3],等. X射线光刻掩模版的制备方法. 2006-01-01.

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