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南开大学 [18]
内容类型
期刊论文 [18]
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2008 [2]
2007 [1]
2005 [9]
2004 [4]
2003 [1]
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硼对沉积本征微晶硅薄膜特性的影响
期刊论文
物理学报, 2009, 卷号: 第58卷, 页码: 1293-1297
作者:
孙福河
;
张晓丹
;
王光红
;
许盛之
;
岳强
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提交时间:2019/03/01
单室
甚高频等离子体增强化学气相沉积
微晶硅
硼
掺杂室沉积本征微晶硅材料及其在太阳能电池中的应用
期刊论文
半导体学报, 2008, 卷号: 第5期, 页码: 855-858
作者:
孙福河
;
张晓丹
;
赵颖
;
王世峰
;
韩晓艳
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/03/01
甚高频等离子体增强化学气相沉积
本征微晶硅
太阳能电池
硅薄膜沉积过程中等离子发光基团的一维空间分布研究
期刊论文
物理学报, 2008, 卷号: 第57卷, 页码: 3276-3280
作者:
陈飞
;
张晓丹
;
赵颖
;
魏长春
;
孙建
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/03/01
甚高频等离子增强化学气相沉积
等离子体
发光基团
空间分布
1nm/s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用
期刊论文
半导体学报, 2007, 卷号: 第28卷, 页码: 209-213
作者:
张晓丹
;
张发荣
;
赵颖
;
陈飞
;
孙建
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提交时间:2019/03/01
甚高频等离子体增强化学气相沉积
微晶硅薄膜太阳电池
高沉积速率
微晶硅太阳电池
期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 第26卷, 页码: 1582-1585
作者:
张晓丹
;
高艳涛
;
赵颖
;
朱锋
;
魏长春
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提交时间:2019/03/04
甚高频等离子体增强化学气相沉积
微晶硅太阳电池
X射线衍射
VHF-PECVD制备微晶硅材料及电池
期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 第26卷, 页码: 952-957
作者:
张晓丹
;
赵颖
;
朱锋
;
魏长春
;
高艳涛
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/03/04
甚高频等离子体增强化学气相沉积
微晶硅薄膜
微晶硅电池
VHF-PECVD制备微晶硅薄膜及其微结构表征研究
期刊论文
人工晶体学报, 2005, 卷号: 第34卷, 页码: 475-478
作者:
张晓丹
;
高艳涛
;
赵颖
;
朱锋
;
魏长春
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/03/04
甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)
微晶硅
衬底温度
二次离子质谱深度剖面分析氢化微晶硅薄膜中的氧污染
期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 第54卷, 页码: 1895-1898
作者:
张晓丹
;
赵颖
;
朱锋
;
魏长春
;
麦耀华
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/03/04
甚高频等离子体增强化学气相沉积
二次离子质谱
氧污染
VHF-PECVD低温制备微晶硅薄膜的拉曼散射光谱和光发射谱研究
期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 第54卷, 页码: 445-449
作者:
张晓丹
;
赵颖
;
朱锋
;
魏长春
;
吴春亚
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提交时间:2019/03/01
甚高频等离子体增强化学气相沉积
微晶硅
拉曼散射谱
光发射谱
VHF-PECVD制备不同氢稀释条件下硅薄膜特性分析
期刊论文
人工晶体学报, 2005, 卷号: 第34卷, 页码: 56-59,64
作者:
张晓丹
;
高艳涛
;
赵颖
;
朱锋
;
魏长春
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提交时间:2019/03/01
甚高频等离子体增强化学气相沉积
微晶硅薄膜
傅立叶变换红外吸收
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