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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：高能物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fabrication of folded waveguide for traveling wave tube by ultra-violet lithography galvanik abformung 期刊论文 真空科学与技术学报, 2015, 期号: 11, 页码: 1356-1361 作者:  Ma TJ(马天军);  Sun JH(孙建海);  Chen ZH(陈振海);  Yi FT(伊福廷);  Liu PK(刘濮鲲) 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/04/18 利用紫外光刻技术进行SU8胶的研究 期刊论文 微纳电子技术, 2003, 期号: Z1, 页码: 126-128+141 作者:  伊福廷;  张菊芳;  彭良强;  韩勇 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2015/12/25 MEMS  微结构  SU8  光刻   一种采用双面对准的硅LIGA掩模制作研究 期刊论文 微细加工技术, 2000, 期号: 4, 页码: 45-49 作者:  刘泽文;  刘理天;  伊福廷;  李志坚 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2015/12/25 X射线  光刻  LIGA  MEMS  掩模