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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 专题：高能物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 利用LIGA技术研制微细电火花异形和阵列结构电极 期刊论文 电加工与模具, 2011, 期号: 5, 页码: 14-17+25 作者:  伊福廷;  李勇;  刘改红 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2015/12/25 电火花电极  异形阵列电极  大高宽比金属结构  LIGA技术   博士论文-LIGA技术研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2000 作者:  伊福廷 收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2015/10/12 LIGA技术  MEMS技术  微细加工技术  同步辐射光刻  微结构技术   电铸在LIGA技术中的应用 期刊论文 微细加工技术, 1995, 期号: 3, 页码: 49-52 作者:  伊福廷;  晋明;  吴坚武;  冼鼎昌 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2015/12/07 微细加工  LIGA技术  电铸   LIGA技术的掩模制造 期刊论文 微细加工技术, 1995, 期号: 2, 页码: 33-37 作者:  伊福廷;  吴坚武;  晋明;  冼鼎昌;  刘金声 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2015/12/07 同步辐射光刻  X光曝光掩模  微结构  微细加工   微细加工新技术—LIGA技术 期刊论文 微细加工技术, 1993, 期号: 4, 页码: 1--7 作者:  伊福廷;  吴坚武;  冼鼎昌 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/12/07 同步辐射曝光  电铸  塑铸  微细加工