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| 新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
周晓峰
  收藏 | 浏览/下载：120/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
蔡梅妮
收藏 | 浏览/下载：145/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 基于FPGA的MEMS谐振微悬臂梁生化传感器接口电路 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
柴光飞
收藏 | 浏览/下载：84/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 硅玻璃激光键合技术及芯片级原子钟气密性 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
张志强
收藏 | 浏览/下载：146/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 基于MEMS技术的可调谐光滤波器及相位调制器研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
翟雷应
收藏 | 浏览/下载：56/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文
半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814
蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健
收藏 | 浏览/下载：58/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 基于MEMS微镜的可调光学衰减器 期刊论文
光电子.激光, 2012, 期号: 12, 页码: 2287-2291
刘英明; 徐静; 钟少龙; 翟雷应; 吴亚明
收藏 | 浏览/下载：47/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113
蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2013/02/22
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| MEMS谐振器的并联电容噪声抑制 期刊论文
微纳电子技术, 2012, 期号: 5, 页码: 318-322
唐梦; 冯明; 程新红
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 低温玻璃浆料圆片级真空封装的研究 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 62-64
王伟; 熊斌; 王跃林; 马颖蕾
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2013/02/22
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