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利用阶梯形电极实现纳米梁驱动与压阻检测结构及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101565162, 申请日期: 2009-10-28, 公开日期: 2009-10-28
杨恒; 吴燕红; 成海涛; 戴斌; 李昕欣; 王跃林
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电可再编程熔丝器件 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101364588, 申请日期: 2009-02-11, 公开日期: 2009-02-11
张挺; 宋志棠; 刘波; 封松林
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2012/01/06
压印技术制备超高密度Si_2Sb_2Te_5基相变存储阵列 期刊论文
微纳电子技术, 2009, 期号: 01
刘彦伯; 闵国全; 宋志棠; 周伟民; 张静; 张挺; 万永中; 李小丽; 张剑平
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2012/01/06
L形梁压阻式微加速度计及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101271124, 申请日期: 2008-09-24, 公开日期: 2008-09-24
熊斌; 高廷金; 车录锋; 王跃林
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新型存储器器件单元制备及性能研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2007
吴良才
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基于MEMS 技术制作的硅纳米线及其性质研究 学位论文
博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006
刘文平
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用于超高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研制 期刊论文
真空科学与技术学报, 2005, 期号: 06
杨尊先; 于映; 李昕欣
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Si作过渡层的Co/Cu/Co三明治膜中高灵敏度巨磁电阻效应和平面内磁各向异性 期刊论文
功能材料与器件学报, 1999, 期号: 03
李冠雄; 沈鸿烈; 沈勤我; 李铁; 邹世昌
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金属薄膜温度传感器的设计 期刊论文
传感技术学报, 1989, 期号: 04
武蕴忠; 孙承龙; 徐梅芳; 褚卫兵; 王渭源
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非共晶Au/Ge欧姆接触工艺改善扩散法n沟道GaAs MESFET 期刊论文
半导体学报, 1984, 期号: 01
吴鼎芬; H.Daembkes; K.Heime
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