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| 新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
周晓峰
  收藏 | 浏览/下载：126/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
蔡梅妮
收藏 | 浏览/下载：153/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文
半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814
蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健
收藏 | 浏览/下载：59/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113
蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林
收藏 | 浏览/下载：24/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 基于金硅原电池保护电容加速度计的制作 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 133-136
王辉; 吴燕红; 杨恒
收藏 | 浏览/下载：27/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响 期刊论文
半导体技术, 2011, 期号: 01
戚玉婕; 车录锋; 孙腾; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：21/0 | 提交时间：2012/04/13
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| 基于环绕悬栅JFET管的数字时间式加速度传感器研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2010
戴斌
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2012/03/06
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| MEMS电容式加速度传感器Q值测试与力反馈接口电路研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2010
张灵霖
收藏 | 浏览/下载：28/0 | 提交时间：2012/03/06 |
| MEMS电容式高Q值加速度传感器闭环检测电路研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2010
孙腾
收藏 | 浏览/下载：85/0 | 提交时间：2012/03/06
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| MEMS电容式微加速度传感器的电路补偿和校准研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2010
戚玉婕
收藏 | 浏览/下载：53/0 | 提交时间：2012/03/06
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