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科研机构
上海微系统与信息技术... [4]
内容类型
期刊论文 [2]
学位论文 [1]
成果 [1]
发表日期
2009 [1]
2001 [1]
2000 [2]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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SOI衬底上SiGe HBT材料与器件研究
学位论文
博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2009
陈超
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浏览/下载:60/0
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提交时间:2012/03/06
绝缘层上硅(SOI)
含有硅化物埋层的SOI材料
SiGe HBT
三维电路
He~+注入Si(100)缺陷退火效应的慢正电子束研究
期刊论文
核技术, 2001, 期号: 04
张天昊
;
翁惠民
;
范扬眉
;
杜江峰
;
周先意
;
韩荣典
;
张苗
;
林成鲁
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浏览/下载:45/0
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提交时间:2012/03/29
硅中离子注入纳米孔层的形成及吸杂效应研究
成果
鉴定: 无, 2000
张苗
;
林成鲁
;
宋志棠
;
多新中
;
黄继颇
;
陈莉芝
;
倪如山
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浏览/下载:35/0
  |  
提交时间:2013/04/12
硅中注氢热退火在晶体中产生的应力及其对晶体结构的影响
期刊论文
核技术, 2000, 期号: 03
多新中
;
刘卫丽
;
张苗
;
高剑侠
;
符晓荣
;
林成鲁
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/29
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