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| 新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
周晓峰
  收藏 | 浏览/下载：131/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 一种体硅可调谐光学滤波器及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102200667A, 申请日期: 2011-09-28, 公开日期: 2011-09-28
李四华; 吴亚明
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器及应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102129125A, 申请日期: 2011-07-20, 公开日期: 2011-07-20
李四华; 吴亚明
收藏 | 浏览/下载：30/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 集成光栅调制衰减器的微镜阵列驱动器及应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102103263A, 申请日期: 2011-06-22, 公开日期: 2011-06-22
吴亚明; 李四华
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 在单硅片上单面微加工制作的悬臂梁加速度传感器及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101968495A, 申请日期: 2011-02-09, 公开日期: 2011-02-09
李昕欣; 王家畴
收藏 | 浏览/下载：60/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 自组装单层膜模板控制生长氧化亚铜晶体及其对DMMP气体的检测(英文) 期刊论文
无机材料学报, 2011, 期号: 10
杨天天; 许鹏程; 左国民; 李昕欣
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| 基于微机械悬臂梁结构的MEMS探测器与传感器 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2010
杨永亮
收藏 | 浏览/下载：55/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 表面特异性分子自组装与微悬臂梁生化传感器 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2010
陈滢
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 一种湿法腐蚀制作集成压阻SiO2悬臂梁的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101590997, 申请日期: 2009-12-02, 公开日期: 2009-12-02
李昕欣; 陈滢; 杨永亮
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 利用单根集成电阻同时实现驱动及自清洗的微机械悬臂梁 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101492150, 申请日期: 2009-07-29, 公开日期: 2009-07-29
于海涛; 李昕欣; 李俊纲; 许鹏程; 杨天天
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2012/01/06 |
