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| 一种微型电磁式振动能量采集器及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102176637A, 申请日期: 2011-09-07, 公开日期: 2011-09-07
李伟; 车录锋; 王鹏; 王跃林
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| 一种SOI基三维楔形耦合器集成衬底结构的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101655576, 申请日期: 2010-02-24, 公开日期: 2010-02-24
杨志峰; 方娜; 武爱民; 王曦
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| 大面积纳米线P-N结阵列及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101587830, 申请日期: 2009-11-25, 公开日期: 2009-11-25
周伟民; 钮晓鸣; 宋志棠; 闵国全; 刘彦伯; 李小丽; 万永忠; 张静; 封松林
收藏 | 浏览/下载：28/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 柱状相变材料纳米阵列及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101567421, 申请日期: 2009-10-28, 公开日期: 2009-10-28
冯高明; 宋志棠; 刘波; 封松林; 万旭东; 吴关平
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| 服务于IC产业的MEMS探卡 期刊论文
微纳电子技术, 2009, 期号: 12
程融; 蒋珂玮; 汪飞; 李昕欣
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2012/01/06
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| SOI基光耦合器与二维光子晶体研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2009
方娜
收藏 | 浏览/下载：24/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 用于纳米梁自检测及驱动的MOS电容结构研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2009
成海涛
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 相变存储器电子束曝光工艺研究与新结构制备 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2009
吕士龙
收藏 | 浏览/下载：37/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 用于降低相变存储器单元功耗的氧化物隔热层及实现方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101226990, 申请日期: 2008-07-23, 公开日期: 2008-07-23
宋志棠; 徐成; 刘波; 封松林
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 单壁碳纳米管的生长原理、定向制备及其红外敏感性能研究 学位论文
博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2008
饶伏波
收藏 | 浏览/下载：73/0 | 提交时间：2012/03/06
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