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| 采用水基原子层沉积工艺在石墨烯上沉积Al_2O_3介质薄膜研究 期刊论文
无机材料学报, 2012, 期号: 9, 页码: 956-960
张有为; 万里; 程新红; 王中健; 夏超; 曹铎; 贾婷婷; 俞跃辉
  收藏 | 浏览/下载：98/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术 期刊论文
传感技术学报, 2012, 期号: 7, 页码: 885-890
王家畴; 刘洁丹; 李昕欣
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2013/02/22
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| InAs/InP量子点激光器制备工艺研究 期刊论文
光电子.激光, 2012, 期号: 1, 页码: 94-97
李世国; 龚谦; 王瑞春; 王新中; 陈朋; 曹春芳; 岳丽; 刘庆博
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 一种基于MEMS工艺的可调FP光学滤波器的制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102225739A, 申请日期: 2011-10-26, 公开日期: 2011-10-26
吴亚明; 翟雷应; 徐静; 李四华; 钟少龙
收藏 | 浏览/下载：144/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 基于混合晶向SOI工艺的CMOS环形振荡器及制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102098028A, 申请日期: 2011-06-15, 公开日期: 2011-06-15
黄晓橹; 伍青青; 魏星; 陈静; 张苗; 王曦
收藏 | 浏览/下载：455/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 一种具有垂直栅结构的SOI CMOS器件的制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101764102A, 申请日期: 2010-06-30, 公开日期: 2010-06-30
程新红; 何大伟; 俞跃辉; 肖德元; 王中健; 徐大朋
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 具有绝缘埋层的混合晶向应变硅衬底制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101692436A, 申请日期: 2010-04-07, 公开日期: 2010-04-07
魏星; 王湘; 李显元; 张苗; 王曦; 林成鲁
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 60GHz通信系统前端应用演示系统研制 会议论文
第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议, 2010
钱蓉; 吴亮; 张挺; 佟瑞; 李凌云; 田彤; 孙晓玮
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2012/01/18 |
| 两步氧离子注入工艺制备SOI材料研究 期刊论文
科学通报, 2010, 期号: 19
魏星; 薛忠营; 武爱民; 王湘; 李显元; 叶斐; 陈杰; 陈猛; 张波; 林成鲁; 张苗; 王曦
收藏 | 浏览/下载：26/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 三维柔性神经微电极研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2010
孙晓娜
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2012/03/06
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