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| 三轴集成加速度传感器及其SIP微模块集成的研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
王军诚
  收藏 | 浏览/下载：98/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 基于MEMS技术的可调谐光滤波器及相位调制器研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
翟雷应
收藏 | 浏览/下载：61/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 平面型相变存储器的制备及性能研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
杜小锋
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 深亚微米闪存分立器件的总剂量辐射效应及加固技术研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
刘张李
收藏 | 浏览/下载：27/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文
半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814
蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健
收藏 | 浏览/下载：59/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113
蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林
收藏 | 浏览/下载：24/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 石墨烯晶畴尺寸的可控生长及其对材料电学性能的影响 期刊论文
功能材料与器件学报, 2012, 期号: 4, 页码: 309-313
吴渊文; 张燕辉; 陈志蓥; 王彬; 于广辉
收藏 | 浏览/下载：27/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 低温玻璃浆料圆片级真空封装的研究 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 62-64
王伟; 熊斌; 王跃林; 马颖蕾
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 基于XeF_2硅刻蚀工艺的低阻硅衬底低损耗共面波导 期刊论文
固体电子学研究与进展, 2012, 期号: 5, 页码: 456-462
刘米丰; 熊斌; 徐德辉; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：33/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 壳聚糖修饰氧化铁磁性纳米颗粒的制备和性能研究 期刊论文
功能材料与器件学报, 2012, 期号: 2, 页码: 147-152
葛玉卿; 张宇; 顾宁
收藏 | 浏览/下载：23/0 | 提交时间：2013/02/22
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