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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 蔡梅妮 收藏  |  浏览/下载：156/0  |  提交时间：2013/04/24 MEMS加速度传感器  吸气剂  器件级真空封装  Q  自停止腐蚀   三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文 半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814 蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健 收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2013/02/22 三明治式MEMS加速度计  自停止腐蚀工艺  吸气剂  品质因子  器件级真空封装   高温超导量子干涉器用可调距液氮金属杜瓦 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN1554917, 申请日期: 2006-05-24, 公开日期: 2004-12-15 张洁; 徐烈; 陈赓华; 孔祥燕 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/07/05 新型力平衡微机械真空传感器研究 期刊论文 真空科学与技术, 1999, 期号: 04 王跃林; 江刺正喜 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 真空  力平衡  微机械  传感器