新型力平衡微机械真空传感器研究 | |
王跃林 ; 江刺正喜 | |
刊名 | 真空科学与技术
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1999 | |
期号 | 04 |
关键词 | K1 真空 力平衡 微机械 传感器 |
ISSN号 | 0253-9748 |
其他题名 | T1 新型力平衡微机械真空传感器研究 |
中文摘要 | 力平衡微机械真空传感器采用 p++硅自停止腐蚀技术和硅/玻璃键合技术制作,为了保持参考腔处在高真空状态,使用非蒸散吸气剂来吸附参考腔中的残余气体。研制了两种结构新型力平衡真空传感器,结果表明,采用力平衡模式工作可以扩展传感器的动态范围,灵敏度高。对力平衡电压与真空度的关系进行了研究,理论值与实测值符合得非常好。 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2012-03-29 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105131] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文(冶金所) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王跃林,江刺正喜. 新型力平衡微机械真空传感器研究[J]. 真空科学与技术,1999(04). |
APA | 王跃林,&江刺正喜.(1999).新型力平衡微机械真空传感器研究.真空科学与技术(04). |
MLA | 王跃林,et al."新型力平衡微机械真空传感器研究".真空科学与技术 .04(1999). |
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