新型力平衡微机械真空传感器研究

	新型力平衡微机械真空传感器研究
	王跃林 ; 江刺正喜
刊名	真空科学与技术
	1999
期号	04
关键词	K1 真空力平衡微机械传感器
ISSN号	0253-9748
其他题名	T1 新型力平衡微机械真空传感器研究
中文摘要	力平衡微机械真空传感器采用ｐ＋＋硅自停止腐蚀技术和硅／玻璃键合技术制作，为了保持参考腔处在高真空状态，使用非蒸散吸气剂来吸附参考腔中的残余气体。研制了两种结构新型力平衡真空传感器，结果表明，采用力平衡模式工作可以扩展传感器的动态范围，灵敏度高。对力平衡电压与真空度的关系进行了研究，理论值与实测值符合得非常好。
语种	中文
公开日期	2012-03-29
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/105131]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文（冶金所）
推荐引用方式 GB/T 7714	王跃林,江刺正喜. 新型力平衡微机械真空传感器研究[J]. 真空科学与技术,1999(04).
APA	王跃林,&江刺正喜.(1999).新型力平衡微机械真空传感器研究.真空科学与技术(04).
MLA	王跃林,et al."新型力平衡微机械真空传感器研究".真空科学与技术 .04(1999).