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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于硅塑性变形原理的二维梳齿静电驱动器及制作方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101955151A, 申请日期: 2011-01-26, 公开日期: 2011-01-26 车录锋; 陈琳; 李伟; 宋朝辉; 戈肖鸿 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/01/06 基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器 期刊论文 传感器与微系统, 2011, 期号: 03 肖育华; 宋朝辉; 戈肖鸿; 车录锋 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/04/13 蛇形曲折梁  塑性变形  垂直驱动  静电梳齿驱动器   基于Si塑性变形的二维驱动器的设计 期刊论文 半导体技术, 2011, 期号: 08 陈琳; 李伟; 戈肖鸿; 车录锋 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/04/13 二维驱动器  塑性变形  绝缘填充槽  梳齿驱动  垂直位错   基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器的设计与制作 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 肖育华 收藏  |  浏览/下载：113/0  |  提交时间：2012/03/06 蛇形曲折梁  塑性变形  垂直驱动  静电梳齿驱动器   基于塑性变形的自对准垂直位错梳齿结构制作工艺 期刊论文 功能材料与器件学报, 2008, 期号: 03 池积光; 车录锋; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2012/01/06 InGaAs/InAlAs  湿法腐蚀  异质结