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一种MEMS微型高灵敏度磁场传感器及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1912646, 申请日期: 2007-02-14, 公开日期: 2007-02-14
吴亚明; 刘玉菲; 李四华; 万助军
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微机械Golay腔型红外探测器的研究 期刊论文
传感器与微系统, 2007, 期号: 03
高翔; 徐静; 赵本刚; 万助军; 吴亚明
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一种低温圆片级微型气体盒的制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1827522, 申请日期: 2006-09-06, 公开日期: 2006-09-06
刘玉菲; 吴亚明; 李四华; 刘文平
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新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟 期刊论文
传感技术学报, 2006, 期号: 05
刘玉菲; 赵本刚; 吴亚明; 王跃林
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新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟 会议论文
传感技术学报, 2006
刘玉菲; 赵本刚; 吴亚明; 王跃林
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SiCOI材料及其在高温微传感器中应用 成果
鉴定: 无, 2001
俞跃辉; 任琮欣; 雷永明; 宋朝瑞
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