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清华大学 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
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2010 [4]
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减少阻力的MEMS初始位置定位机构设计与性能分析
期刊论文
2010, 2010
李华
;
石庚辰
;
LI Hua
;
SHI Geng-chen
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综合改善微细电解加工精度的工艺研究
期刊论文
2010, 2010
马晓宇
;
李勇
;
胡满红
;
刘改红
;
Ma Xiaoyu
;
Li Yong
;
Hu Manhong
;
Liu Gaihong
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浏览/下载:10/0
基于LIGA工艺的横向变形MEMS定位机构设计
期刊论文
2010, 2010
李华
;
石庚辰
;
LI Hua
;
SHI Geng-chen
收藏
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浏览/下载:3/0
MEMS加工误差对微弹簧力学特性的影响分析
期刊论文
2010, 2010
李华
;
石庚辰
;
何光
;
LI Hua
;
SHI Geng-chen
;
HE Guang
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