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| PECVD下基底温度对SiC薄膜形态、成分及生长速度的影响 期刊论文
无机材料学报, 2013, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 201-206
作者: 于方丽; 白宇; 秦毅; 岳冬; 罗才军
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| 硅基垂直腔面光发射器件的研制 期刊论文
2010, 2010
姚永昭; 岳瑞峰; 刘理天; YAO Yongzhao; YUE Ruifeng; LIU Litian
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| PECVD SiC材料刻蚀技术 期刊论文
半导体学报, 2006
陈晟; 李志宏; 张国炳; 郭辉; 王煜; 田大宇
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| PECVD法低温淀积SiC_x薄膜的防水汽扩散性能研究 期刊论文
功能材料, 2000, 期号: S1
姜利军; 陈翔; 王旭洪; 徐立强
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| 正交实验方法研究PECVD碳化硅薄膜的防水汽扩散性质 期刊论文
功能材料与器件学报, 1999, 期号: 04
姜利军; 陈翔; 王旭洪; 赵润涛; 盛玫; 徐立强
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| 等离子体增强化学气相低温沉积碳化硅薄膜及其性质研究 期刊论文
功能材料与器件学报, 1999, 期号: 01
姜利军; 陈翔; 王旭洪; 徐立强
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2012/03/29 |
| 利用离子束技术及PECVD制备碳化硅 期刊论文
核技术, 1998, 期号: 09
陈长清; 任琮欣; 杨立新; 严金龙; 郑志宏; 周祖尧; 陈平; 柳襄怀; 陈学良
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