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科研机构
上海微系统与信息技... [10]
内容类型
期刊论文 [10]
发表日期
2009 [1]
2007 [2]
2006 [1]
2002 [1]
2000 [1]
1999 [1]
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内容类型:期刊论文
专题:上海微系统与信息技术研究所
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55
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65
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75
80
85
90
95
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Tribological Characterization of Several Silicon-Based Materials Under Ionic-Liquids Lubrication
期刊论文
TRIBOLOGY LETTERS, 2009, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 247-257
Xie, GX
;
Wang, Q
;
Si, LN
;
Liu, SH
;
Li, G
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/03/24
STEEL CONTACT
DLC FILMS
COATINGS
BEHAVIOR
MEMS
ADDITIVES
PERFORMANCE
MEMS/NEMS
CERAMICS
FRICTION
Dual-SAM functionalization on integrated cantilevers for specific trace-explosive sensing and non-specific adsorption suppression
期刊论文
NANOTECHNOLOGY, 2007, 卷号: 18, 期号: 25, 页码: 255501-255501
Zuo, GM
;
Li, XX
;
Zhang, ZX
;
Yang, TT
;
Wang, YL
;
Cheng, ZX
;
Feng, SL
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2011/12/17
SELF-ASSEMBLED MONOLAYERS
POLYMER-FILMS
MICROCANTILEVER SENSORS
VAPOR DETECTION
GOLD
ACID
TRINITROTOLUENE
RECOGNITION
COATINGS
DESIGN
Dual-SAM functionalization on integrated cantilevers for specific trace-explosive sensing and non-specific adsorption suppression
期刊论文
NANOTECHNOLOGY, 2007, 卷号: 18, 期号: 25, 页码: 255501-255501
Zuo, GM
;
Li, XX
;
Zhang, ZX
;
Yang, TT
;
Wang, YL
;
Cheng, ZX
;
Feng, SL
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2011/12/17
SELF-ASSEMBLED MONOLAYERS
POLYMER-FILMS
MICROCANTILEVER SENSORS
VAPOR DETECTION
GOLD
ACID
TRINITROTOLUENE
RECOGNITION
COATINGS
DESIGN
Trace TNT vapor detection with an SAM-functionalized piezoresistive SiO2 microcantilever
期刊论文
2006 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2006, 页码: 749-752
Zuo, GM
;
Li, XX
;
Li, P
;
Wang, YL
;
Cheng, ZX
;
Feng, SL
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2011/12/17
POLYMER-FILMS
EXPLOSIVES
SENSORS
RECOGNITION
COATINGS
Friction and wear properties in MEMS
期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2002, 卷号: Aug-97, 页码: 486-491
Wang, WY
;
Wang, YL
;
Bao, HF
;
Xiong, B
;
Bao, MH
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/24
ATOMIC-FORCE MICROSCOPY
SILICON
SURFACE
ADHESION
COATINGS
Annealing effect on electron field-emission properties of diamond-like nanocomposite films
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2000, 卷号: 88, 期号: 9, 页码: 5087-5092
Ding, XZ
;
Mao, DS
;
Tay, BK
;
Lau, SP
;
Shi, JR
;
Li, YJ
;
Sun, Z
;
Shi, X
;
Tan, HS
;
Zhang, FM
;
Liu, XH
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2012/03/24
TETRAHEDRAL AMORPHOUS-CARBON
THERMAL-STABILITY
DEPOSITED DIAMOND
COLD CATHODES
DISPLAYS
PHOTOEMISSION
COATINGS
EMITTERS
ION
Ion beam assisted deposition of diamond-like nanocomposite films in an acetylene atmosphere
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 1999, 卷号: 346, 期号: 1-2, 页码: 82-85
Ding, XZ
;
Zhang, FM
;
Liu, XH
;
Wang, PW
;
Durrer, WG
;
Cheung, WY
;
Wong, SP
;
Wilson, IH
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/25
AMORPHOUS-CARBON FILMS
FIELD-EMISSION
COATINGS
ADHESION
ENERGY
Overall energy model for preferred growth of TiN films during filtered arc deposition
期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 1997, 卷号: 30, 期号: 1, 页码: 5-12
Zhao, JP
;
Wang, X
;
Chen, ZY
;
Yang, SQ
;
Shi, TS
;
Liu, XH
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/25
COATINGS
ORIENTATION
EVOLUTION
Effect of film thickness on preferred growth of TiN films during filtered arc deposition
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS, 1997, 卷号: 16, 期号: 12, 页码: 974-976
Zhao, JP
;
Wang, X
;
Chen, ZY
;
Yang, SQ
;
Shi, TS
;
Liu, X
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/03/25
EVAPORATION
ORIENTATION
EVOLUTION
COATINGS
DEPOSITION AND MODIFICATION OF TITANIUM NITRIDE BY ION-ASSISTED ARE DEPOSITION
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, 1995, 卷号: 13, 期号: 3, 页码: 1658-1664
BENDAVID, A
;
MARTIN, PJ
;
WANG, X
;
WITTLING, M
;
KINDER, TJ
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/03/25
FILTERED ARC EVAPORATION
THIN-FILMS
ELASTIC-CONSTANTS
BOMBARDMENT
TIN
COATINGS
GROWTH
STRESS
MICROSTRUCTURE
ORIENTATION
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