Friction and wear properties in MEMS | |
Wang, WY ; Wang, YL ; Bao, HF ; Xiong, B ; Bao, MH | |
刊名 | SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL |
2002 | |
卷号 | Aug-97页码:486-491 |
关键词 | ATOMIC-FORCE MICROSCOPY SILICON SURFACE ADHESION COATINGS |
ISSN号 | 0924-4247 |
通讯作者 | Bao, MH, Fudan Univ, Dept Elect Engn, Shanghai 200433, Peoples R China |
学科主题 | Engineering, Electrical & Electronic; Instruments & Instrumentation |
收录类别 | SCI |
语种 | 英语 |
公开日期 | 2012-03-24 |
内容类型 | 期刊论文 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/95574] |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Wang, WY,Wang, YL,Bao, HF,et al. Friction and wear properties in MEMS[J]. SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL,2002,Aug-97:486-491. |
APA | Wang, WY,Wang, YL,Bao, HF,Xiong, B,&Bao, MH.(2002).Friction and wear properties in MEMS.SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL,Aug-97,486-491. |
MLA | Wang, WY,et al."Friction and wear properties in MEMS".SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL Aug-97(2002):486-491. |
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