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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 内容类型：期刊论文    专题：清华大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fabrication and efficiency measurement of a multilayer-coated ion-beam-etched laminar grating for extreme ultraviolet region 期刊论文 2010, 2010 Lin, Hui; Zhang, Lichao; Jin, Chunshui; Zhou, Hongjun; Huo, Tonglin 收藏  |  浏览/下载：3/0 提高离子束刻蚀亚微米光栅侧壁陡直度的方法 期刊论文 2010, 2010 孟祥峰; 李立峰; Meng Xiangfeng; Li Lifeng 收藏  |  浏览/下载：1/0 High-efficiency multilayer-coated ion-beam-etched blazed grating in the extreme-ultraviolet wavelength region 期刊论文 2010, 2010 Lin, Hui; Zhang, Lichao; Li, Lifeng; Jin, Chunshui; Zhou, Hongjun; Huo, Tonglin 收藏  |  浏览/下载：3/0 Method for controlling groove depth and duty cycle of rectangular photoresist gratings 期刊论文 2010, 2010 Zhao Jinsong; Li Lifeng; Wu Zhenhua 收藏  |  浏览/下载：3/0 In situ endpoint detection of reactive ion-beam etching of dielectric gratings with an etch-stop layer using downstream mass spectrometry 期刊论文 2010, 2010 Meng, Xiangfeng; Li, Lifeng 收藏  |  浏览/下载：2/0