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减少阻力的MEMS初始位置定位机构设计与性能分析 期刊论文
2010, 2010
李华; 石庚辰; LI Hua; SHI Geng-chen
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综合改善微细电解加工精度的工艺研究 期刊论文
2010, 2010
马晓宇; 李勇; 胡满红; 刘改红; Ma Xiaoyu; Li Yong; Hu Manhong; Liu Gaihong
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基于LIGA工艺的横向变形MEMS定位机构设计 期刊论文
2010, 2010
李华; 石庚辰; LI Hua; SHI Geng-chen
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