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上海微系统与信息技术... [4]
内容类型
成果 [4]
发表日期
2007 [1]
2005 [3]
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一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计
成果
鉴定: 无, 2007
李昕欣
;
王跃林
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2013/04/12
深沟侧壁扩散和电绝缘薄膜填充制造压阻加速度传感器
成果
鉴定: 无, 2005
未知
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浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2013/04/12
微机械梳状电容式加速度传感器
成果
鉴定: 无, 2005
未知
收藏
  |  
浏览/下载:32/0
  |  
提交时间:2013/04/12
深沟侧壁扩散和电绝缘薄膜填充制造压阻加速度传感器及其制造方法
成果
鉴定: 无, 2005
李欣欣
;
王跃林
;
张锟
;
陆德仁
;
熊斌
;
罗乐
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浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2013/04/12
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