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工程材料表面聚合物修饰及仿生水润滑研究：从界面设计到摩擦调控 学位论文
理学博士: 中国科学院大学, 2014
魏强兵
收藏  |  浏览/下载：219/0  |  提交时间：2014/11/24
新型解耦式微陀螺的研究与设计及关键制造工艺的开发 学位论文
2011, 2011
闫鑫
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2016/02/14
微机电系统中的声学推进器和探测器 学位论文
2011
作者:  王自昱
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/05
微机械P/N多晶硅热电堆红外探测器阵列及真空封装技术研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010
李艳龙
收藏  |  浏览/下载：142/0  |  提交时间：2012/03/06
硅基微机械红外光源的设计和制备 学位论文
2009, 2009
程美英
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2016/02/14
集成硅微机械谐振式悬臂梁传感器与快速生化检测 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009
于海涛
收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2012/03/06
半导体激光正弦相位调制干涉测振技术的研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:  李中梁
收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2016/11/28
基于MEMS的光纤加速度计的研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008
曾凡林  
收藏  |  浏览/下载：187/0  |  提交时间：2012/03/06
SOI微机械结构和相关器件研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008
武爱民
收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/03/06
集成电路芯片圆片级测试用MEMS探卡技术研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008
汪飞
收藏  |  浏览/下载：50/0  |  提交时间：2012/03/06

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